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悟空大师   发表于 2018-6-30 21:43:15 |栏目:仪器资料 |分类:红外光谱
  • 资料类型 :应用方法 
  • 资源级别: 三星以上
  • 文件类型 : pdf 
  • 适合人群 : 初学者
  • 关联厂家 :
  • 仪器型号:
BRUKER低温红外硅材料中C、O及B、P等的检测
在半导体生产过程中的质量控制领域,硅材料中 C、O 及B、P 等杂质分析是一个非常关注的课题。布鲁
克公司可根据具体的应用要求,为使用者提供一系列的仪器配置与分析方法。下面对此作一简要的介绍:
1. 此类分析方法的基本情况描述
早在上个世纪的八十年代初,布鲁克公司就已经根据这方面的应用需求开始着力进行硅材料(单晶和多晶)
中C、O 及B、P、As……等杂质含量方法及仪器配置的研究与发展。经过二十多年的不断完善与发展,特
别是通过国内外诸多相关企业的应用实践,我们已经形成了一整套不同工作原理、不同分析手段、不同应
用条件、适应多种应用要求的系列解决方案,并可根据使用者的具体情况灵活加以配置。对于上述所提及
的含量分析,最低可检测的浓度可达几个ppta 的水平。到目前为止,世界上和国内的多家大型半导体生产
企业和研究单位分别采用了我们提供的不同的解决方案,如Hemlok、Wacker Chemie、MEMC、LG、浙
大硅材料国家重点实验室、及国内的一批多晶硅生产企业(名略),……等等。
2. 几种可能的配置方案
我们知道,B、P 等杂质的吸收特征主要分别出现在319cm-1 和316cm-1 附近(如图3),它们属于远红外区
域。您已经知道,在远红外区域密布着H2O 和CO2 的吸收峰(如图1,图中最右侧区域为远红外区域)。这
些吸收峰不仅分布密度很高,且其吸收强度还随着样品附近的环境的变化而随时变化,而我们需要检测的
B、P 等杂质吸收又非常弱,这样就出现了两种情况:1)水的吸收太强了就会淹没我们要测的有用的信号;
2)如果水等干扰的强度不断地变化,就没有办法确定杂质的含量。

BRUKER低温红外硅材料中C、O及B、P等的检测- 一起下吧



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tcdzq

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tcdzq   发表于 2018-7-2 05:04:27 |栏目:仪器资料
额,為神馬現在才發現一起下吧的資源啊[email protected][email protected]

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ward

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ward   发表于 2018-7-4 01:09:25 |栏目:仪器资料
這個資源非常需要,支持一起下吧!

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suprise007

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suprise007   发表于 2018-7-5 17:17:29 |栏目:仪器资料
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4880

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4880   发表于 2018-7-7 09:36:12 |栏目:仪器资料
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julliya

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julliya   发表于 2018-7-8 21:28:58 |栏目:仪器资料
确实是难得好帖啊,讓我涕流滿面,頂頂一起下吧先

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万水千山

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万水千山   发表于 2018-7-10 09:41:50 |栏目:仪器资料
珍惜生命,果断回帖;酌一杯清茶,品一起下吧资源

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hogehoge

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hogehoge   发表于 2018-7-11 20:13:44 |栏目:仪器资料
啥也不说了,感谢一起下吧和楼主的分享哇!

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xsi

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xsi   发表于 2018-7-13 08:49:59 |栏目:仪器资料
这个資源一般般,不過我喜歡

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yunzhonghe

氦级

yunzhonghe   发表于 2018-7-15 02:08:26 |栏目:仪器资料
确实是难得好帖啊,讓我涕流滿面,頂頂一起下吧先

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