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dongdefannao   发表于 2019-7-14 21:09:19 |栏目:书籍推荐
  • 书籍名称 :微纳米加工技术及其应用 第三版
  • 编著人员 : 崔铮著
  • 出版单位 : 高等教育出版社
  • 出版时间 : 2013
  • 涉及领域: 化工书籍
  • 推荐等级: ★★★
微纳米加工技术及其应用 第三版 崔铮著

     《微纳米加工技术及其应用(第3版)》集作者崔铮多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际 上的*发展,综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加 工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理,列举基本的丁艺步骤,说明各种工艺 条件的由来,并注意给出典型的工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项;以大量图表与实例说明各种加工方法,避免烦琐的数学分析;并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高 新技术领域的应用,演示了如何灵活应用微纳米加工 技术来推动这些领域的技术进步。
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     与国内外同类出版物相比,《微纳米加工技术及其应用(第3版)》的显著特点是将用于超大规模集成 电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍,并加以比较;首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型,突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。

    全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的 *进展,并列举了大量参考文献与互联网链接网址,供读者进一步发掘详细信息与深入研究,因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。
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las9499

氦级

las9499   发表于 7 天前 |栏目:书籍推荐
么有分,谁能送我点搬砖数值啊::>_<::

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