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大风起兮云飞扬   发表于 2019-7-1 23:37:52 |栏目:书籍推荐
  • 书籍名称 :微机电系统设计与加工
  • 编著人员 : 盖德著
  • 出版单位 : 机械工业出版社
  • 出版时间 : 2010
  • 涉及领域: 电气机械书籍
  • 推荐等级: ★★★
微机电系统设计与加工 盖德著
本书是MEMS系列图书的一本,主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用,单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性,用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀,聚合物微系统:材料和加工,光诊断方法考察微流道的入口长度,应用于航空航天的微化学传感器,恶劣环境下的MEMS器件封装技术,纳机电系统制造技术,分子自组装基本概念及应用。
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第1章 绪论
第2章 MEMS中的材料
参考文献
第3章 MEMS制造
第4章 LIGA及其微模压
第5章 基于X射线的加工
第6章 EFAB技术及其应用
第7章 单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性
第8章 用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀
第9章 聚合物微系统:材料和加工
第10章 光诊断方法考察微流道的入口长度
第11章 应用于航空航天的微化学传感器
第12章 恶劣环境下的MEMS器件封装技术
第13章 纳机电系统制造技术
第14章 分子自组装基本概念及应用
参考文献

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yougikon

等待验证会员

yougikon   发表于 2019-7-20 13:55:12 |栏目:书籍推荐
我帶著醬油瓶路過一起下吧的,還是忍不住小手一抖!

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puton

氦级

puton   发表于 2019-8-13 15:59:31 |栏目:书籍推荐
确实是难得好帖啊,讓我涕流滿面,頂頂一起下吧先

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haitianmulan

氦级

haitianmulan   发表于 2019-9-15 07:01:40 |栏目:书籍推荐
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