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sommer   发表于 2017-7-13 11:00:19 |栏目:标准资料
  • 标准类型 :其他标准 
  • 标准状态 : 正在实施标准 
  • 标准约束 : 强制性标准
  • 标准代号 : GB/T 15909-2009
  • 实施时间 : 2010-05-01
  • 发布单位 : 中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局 中国国家标准化管理委员会
GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
本标准代替GB/T 15909 一--1995(( 电子工业用气体硅烧》。
本标准与GB/T 15909--1995 相比主要变化如下:
一→一修改规范性引用文件(GB/T 15909→ 1995 的第2 章,本版的第2 章) ;
→一修改技术指标内容:增加一类产品纯度和杂质含量,用Cl 表示氯化物总量(GB/T 15909-一
1995 的3. 1,本版的3. 1);
一二修改电性能规格(GB/T 15909-1995 的3.2 ,本版的3.3) ;
二一增加硅炕的采样安全要求(见4. 1. 2) ;
一←增加对硅烧尾气处理的要求(见4.3) ;
---修改一氧化碳、二氧化碳、氧和氮含量的测定(GB/T 15909--1995 的4.2 、4.6 ,本版的4.4) ;
一-修改测定氯化物含量所用试剂和溶液的内容(GB/T 15909← 1995 的4.3.4 ,本版的4.5.4) ;
一一-修改测定氯化物含量结果处理公式(GB/T 15909-1995 的4.3.6 ,本版的4.5.6) ;
一一增加其他方法测定氯化物含量(见4.5.7) ;
一一修改短(C1 ,...__ C3 ) 含量的测定(GB/T 15909→-1995 的4.4 ,本版的4.6);
一二增加其他方法测定氢含量(见4.7.6) ;
一-增加其他方法测定水含量(见4.8);
一-一增加微量甲硅酶,乙硅烧和甲基硅烧含量的测定(见4.9) ;
←一增加金属离子含量的测定(见4.10) ;
→一修改标志、包装、贮运及安全(GB/T 15909一1995 的第5 章,本版的第5 章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。


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zzzxiaoxin

氦级

zzzxiaoxin   发表于 2017-8-7 22:47:31 |栏目:标准资料
這麼好的帖子都沒有人頂!d=====( ̄▽ ̄*)b,我來多頂頂樓主

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wushuang111u2

氦级

wushuang111u2   发表于 2017-10-18 06:17:33 |栏目:标准资料
确实是难得好帖啊,讓我涕流滿面,頂頂一起下吧先

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wh78340905

氦级

wh78340905   发表于 2018-9-16 04:44:43 |栏目:标准资料
我帶著醬油瓶路過一起下吧的,還是忍不住小手一抖!

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ononpig

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ononpig   发表于 2019-4-14 18:09:48 |栏目:标准资料
珍惜生命,果断回帖;酌一杯清茶,品一起下吧资源

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