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一起下吧»论坛 › 食药化工机械地质综合专区 › 电力电器资料 › 微机电系统 (MEMS) 制造技术
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微机电系统 (MEMS) 制造技术

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楼主
眼大无光   发表于 2020-6-2 15:58:36 |栏目：书籍推荐 |
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  • 书籍名称 ：微机电系统 (MEMS) 制造技术
  • 编著人员 ： 苑伟政、乔大勇 著
  • 出版单位 ： 隐藏内容
  • 出版时间 ： 2014
  • 涉及领域： 电气机械建筑书籍
  • 推荐等级： ★★★
微机电系统 (MEMS) 制造技术
　　《微纳制造的基础研究学术著作丛书：微机电系统（MEMS）制造技术》主要论述微机电系统（MEMS）制造技术，全书共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；第2章介绍MEMS制造的材料基础；第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术；第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术；第5章阐述湿法腐蚀与干法刻蚀技术；第6章阐述氧化、扩散与注入技术；第7章介绍各种薄膜制备技术；第8章介绍包括表面牺牲层工艺、体加工工艺和混合工艺在内的MEMS加工标准化工艺；第9章阐述MEMS的芯片级和圆片级封装工艺。《微纳制造的基础研究学术著作丛书：微机电系统（MEMS）制造技术》结合大量设备操作实例和工艺实例，贴近实践，易于理解。同时，考虑到MEMS加工工艺过程涉及大量化学品的使用，还专门以附录的形式对MEMS制造常用化学品物质安全资料表和基本化学品安全术语进行了介绍。

　　《微纳制造的基础研究学术著作丛书：微机电系统（MEMS）制造技术》适合作为MEMS相关专业研究生教材，也可供相关领域的科技人员阅读参考。
微机电系统 (MEMS) 制造技术- 一起下吧
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微机电系统, MEMS

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nxBFromnowon

沙发
nxBFromnowon   发表于 2020-6-10 22:52:26 |栏目：书籍推荐
额，為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

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king_gx

板凳
king_gx   发表于 2020-6-19 00:04:29 |栏目：书籍推荐
这个資源一般般，不過我喜歡

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李宁LN

地板
李宁LN   发表于 2020-6-26 04:53:59 |栏目：书籍推荐
啥也不说了，感谢一起下吧和楼主的分享哇！

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kluge0729

5#
kluge0729   发表于 2020-7-3 00:18:50 |栏目：书籍推荐
珍惜生命，果断回帖；酌一杯清茶，品一起下吧资源

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qwezxc

6#
qwezxc   发表于 2020-7-9 13:34:57 |栏目：书籍推荐
额，為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

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tianjin416

7#
tianjin416   发表于 2020-7-16 14:38:48 |栏目：书籍推荐
這個資源非常需要，支持一起下吧！

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LaLaLa

8#
LaLaLa   发表于 2020-7-25 00:27:13 |栏目：书籍推荐
么有分，谁能送我点搬砖数值啊::>_<::

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澹然乐忘

9#
澹然乐忘   发表于 2020-8-4 19:05:56 |栏目：书籍推荐
我帶著醬油瓶路過一起下吧的，還是忍不住小手一抖！

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blade

10#
blade   发表于 2020-8-13 07:53:37 |栏目：书籍推荐
么有分，谁能送我点搬砖数值啊::>_<::

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