原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法

仪器资料 · 发表于 2018-10-8 09:52:42

原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法
原子力显微镜( AFM) 摩擦力的标定是利用AFM 测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的
Og letr ee 楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响, 当载荷较小时, 标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中
在Og letr ee 法的基础上, 推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法。利用改进楔形法, 分别在标准光栅和聚焦
离子束刻蚀( FIB) 加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定。试验结果表明, 与常用的标准光栅相比, 利用聚焦离子束
刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据, 标定结果更为准确。将改进楔形法和Og let ree 法的标定结果进行了比较, 结果
表明, 在载荷较低时( < 6 LN) , 改进楔形法更为准确; 载荷较高时( > 6 LN) , Ogletree 法与改进楔形法得到的结果相近。
改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法。

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